Sonderlösung für die Halbleiterindustrie
Präzises Handling von Siliziumstäben unter schwierigen Bedingungen
In der Halbleiterfertigung sind Präzision, Reinheit und Prozesssicherheit entscheidende Faktoren, insbesondere beim Handling empfindlicher Siliziumstäbe. Hohe Temperaturen, starke elektromagnetische Felder und nicht zuletzt Reinraumanforderungen stellen dabei hohe technische Herausforderungen dar. Für einen Kunden aus der Halbleiterindustrie haben wir eine innovative Sonderlösung entwickelt: ein nichtmagnetisches, elektropoliertes Handlingsfahrzeug, das speziell für den temperaturbeständigen, präzisen und automatisierten Ausbau und Transport von Siliziumstäben in sensiblen Fertigungsprozessen konstruiert und gebaut wurde.
Automatisierte Prozessintegration im Hochtechnologieumfeld
Das Fahrzeug ist in den Produktionsablauf integriert und kommuniziert direkt mit der Ziehanlage.
- Exakte Positionierung: Der Bediener steuert das Fahrzeug per Funkfernbedienung. Laserpointer und Bodenmarkierungen unterstützen die präzise Ausrichtung vor der Ziehanlage.
- Automatisierte Kommunikation: Über eine WLAN-Verbindung tauscht das Fahrzeug Signale für das Senken und den Stopp des Aufnahmetellers mittels eines Seillängengebers mit der Ziehanlage aus.
- Sichere Lastübergabe: Die Siliziumstäbe werden auf einen elektrisch angetriebenen Stützteller mit klappbarer Absturzeinrichtung aufgenommen und abgesetzt.
- Sanfte Senkbewegungen: Die Steuerung der Ziehanlage regelt zum einen die Absenk-Geschwindigkeit und zum anderen über eine Wiegeeinrichtung das Aufstandsgewicht des Siliziumstabes im Aufnahmeteller. Dadurch wird das sensible Material geschützt.
- Trennung des Kristalldünnhalses: Nach abgeschlossenem Übergabevorgang trennt die Anlage den Dünnhals, während das Handlingsfahrzeug das Gewicht hält.
- Flexible Weiterverarbeitung: Mit Hilfe der Funkfernbedienung schwenkt der Werker die Aufnahmewanne in die horizontale Position, transportiert den Kristall zur Umlagestation und fährt in die Parkposition zurück.
Bedienung & Sicherheit
Die intuitive Funkfernbedienung mit ergonomischer Bedienlogik ermöglicht eine sichere, manuelle Steuerung.
- Sicherheitsfeatures: Not-Halt, Statusanzeigen und eine mehrstufige Freigabelogik erhöhen die Betriebssicherheit.
- Auch bei Störungen oder Anlagenstillstand bleibt das Fahrzeug vollständig kontrollierbar.
Reinraumtauglichkeit & Reinigung
Das Fahrzeug ist speziell für den Einsatz unter Reinraumbedingungen der ISO 14664-1, Klasse 9 entwickelt. Es gewährleistet, dass Siliziumstäbe sauber und kontaminationsfrei aufgenommen sowie transportiert werden. Damit leistet es einen entscheidenden Beitrag zur Einhaltung höchster Reinheitsstandards in der Halbleiterfertigung.
- Glattflächige, medienbeständige Oberflächen, welche die Anhaftung von Partikeln deutlich reduzieren
- Elektropolierte Edelstahlkomponenten, die eine besonders schonende und einfache Reinigung ermöglichen und so die Kontaminationsgefahr minimieren
Ausgelegt für den Dauerbetrieb
Die Konstruktion ist für den 3-Schicht-Betrieb mit minimalem Wartungsaufwand optimiert.
- Elektrischer Antrieb: Verzicht auf Hydraulik für höhere Präzision und geringeren Verschleiß
- Langlebige Komponenten mit hoher Zyklenfestigkeit
Kundenspezifische Entwicklung für höchste Anforderungen in der Halbleiterproduktion
Diese Sonderlösung entstand in enger Zusammenarbeit mit unserem Kunden und wurde exakt auf die extremen Bedingungen in der Siliziumkristallzucht und Waferherstellung abgestimmt.
Durch die Kombination aus langjähriger Erfahrung im Sondermaschinenbau, fundierter Werkstoffkompetenz und intelligenter Systemintegration entstand ein nichtmagnetisches Handlingsfahrzeug, das den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird:
Es gewährleistet höchste Prozesssicherheit, schützt die Reinheit der empfindlichen Siliziumkristalle und ermöglicht einen präzisen, automatisierten Ablauf innerhalb der sensiblen Fertigungskette.
Der Kunde erhielt eine maßgeschneiderte Sonderlösung, die sich nahtlos in den bestehenden Produktionsprozess integriert und sich unter realen Betriebsbedingungen als effizient, robust und zuverlässig bewährt hat.